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橢偏儀LSE-WS

橢偏儀LSE- ? LSE-毫米 ?橢圓儀LSE-WS 橢圓儀是一種高速薄膜厚度測繪系統(tǒng)，每秒測量一個位置，包括載物臺行程！它使用先進的 ?技術(shù)（曾榮獲 和R＆D 100＊佳新產(chǎn)品獎），可在任何＊大的晶圓上提供無傾斜，無焦點，2D / 3D色彩厚度和索引圖像。該單元的優(yōu)雅設(shè)計提供了＊＊＊＊的易用性和瞬時測量功能，其成本遠低于傳統(tǒng)的生產(chǎn)控制計量系統(tǒng)。LSE-WS價格合理，是高精度掃描橢圓儀中的流行選擇。特征無故障，無移動部件的高級?測量頭。測量極化的完整狀態(tài)，以提高準確性。使用光譜精確的激光橢偏儀進行準確，穩(wěn)定的測量。＊快的薄膜測量儀器。免傾斜，免聚焦，免提操作，適用于類似晶片。簡單，緊湊的臺式儀器-價格具有競爭力。高精度和高性能LSE-WS模型建立在經(jīng)過生產(chǎn)驗證的 ?橢偏儀系列產(chǎn)品之上，并在全球范圍內(nèi)廣泛使用。

從薄的柵氧化物到只有幾十埃厚的聚酰亞胺和光致抗蝕劑，蓋特納以提供精確，可靠的結(jié)果而聞名。LSE-WS模型設(shè)定了高性能標準，可以滿足當今要求更高的計量應(yīng)用。諸如氧化物，氮化物和光致抗蝕劑的單層膜可以被測量到亞埃精度?？梢詼y量兩層，三層和四層薄膜，這些薄膜具有已知的底層，例如頂層氧化層和頂層氧化層，或者頂層的厚度和折射率。?軟件增強了易用性和理解力。出色的圖形測量結(jié)果顯示在計算機顯示屏上，可以發(fā)送到打印機。存儲在文本數(shù)據(jù)文件中的結(jié)果以2D等高線或3D地圖圖像顯示。圖像可以旋轉(zhuǎn)，傾斜，縮小或放大以立即查看和解釋。膜厚的二維輪廓圖膜厚的3D輪廓圖主屏幕易于使用的LSE-WS 橢圓儀操作簡單。用戶與單個主程序屏幕交互，因此設(shè)置易于理解并且可以快速進行測量。可以輕松訪問存儲的配方以掃描不同的膠片和圖案。只需單擊一下鼠標，即可自動掃描類似的晶圓。操作員可以選擇1、5、9或49點圓形測量，XY網(wǎng)格，直徑或具有多達1000個測量點的極性掃描，并設(shè)置晶片邊緣排除。高精度平臺高質(zhì)量步進電機平臺可提供精確且可重復的位置。晶片通過真空保持在光學平臺上。平臺在編程的計算機控制下以快速而精確的步驟自動移動。

包括載物臺行程在內(nèi)的每點測量時間少于一秒。步進精度優(yōu)于10微米，可輕松設(shè)置覆蓋區(qū)域和該區(qū)域內(nèi)的點以進行自動掃描。速度和穩(wěn)定性LSE-WS橢偏儀通過以70°入射角反射來自樣品表面的偏振激光束進行測量，并幾乎瞬時確定由樣品引起的偏振變化。由于?測量頭中沒有活動部件，因此即使連續(xù)使用數(shù)月也可以進行準確且可重復的測量。通過使用穩(wěn)定的，光譜精確的，高信噪比的HeNe氣體激光光源二氧化碳報警器，可以進一步提高測量精度。?技術(shù)的說明這種先進的設(shè)備無需移動部件，也不需要調(diào)制器，可以快速氧氣分析儀，準確地確定測量光束的完整偏振狀態(tài)。上圖顯示了用于同時測量所有四個光參數(shù)的?光旋光儀。待確定其偏振狀態(tài)的光束以傾斜的入射角連續(xù)入射三個光電探測器表面，每個光電探測器表面均被部分光譜反射甲苯報警器，并且每個光電探測器表面均產(chǎn)生與光電探測器的分數(shù)成比例的電信號。它吸收的輻射。第四光電探測器基本上完全吸收光氧氣分析儀，并檢測其余的光。這樣形成的四個輸出形成一個4x1信號矢量I，它與輸入斯托克斯矢量S線性相關(guān)，即I = AS。所以，小號通過獲得S =甲（-1）予。4x4儀器矩陣A必須是非奇異的，這要求前三個檢測器表面的入射平面都不同。

對于給定的四個檢測器布置，可以通過校準來計算或確定A。技術(shù)優(yōu)勢簡單，緊湊的?取代了由鼓，棱鏡，編碼器，開關(guān)，電動機和檢測器及其相關(guān)電子設(shè)備組成的典型旋轉(zhuǎn)分析儀組件。另外，消除了偏振器臂上的波片機構(gòu)。這樣就可以實現(xiàn)快速，精確，穩(wěn)定的無運動部件橢偏儀。斯托克斯（）橢圓儀的一項出色功能是對由于樣品不平整而導致的角光束偏差的微小變化進行補償。這種補償允許在整個晶片表面上進行快速，連續(xù)掃描，而無需暫停以校正聚焦和傾斜。當掃描相似的晶片時，高速，無傾斜，無焦點，自動操作是明顯的好處。上面顯示的可選LMS 系統(tǒng)可選的 LMS，用于通過15微米測量激光束直徑測量晶圓上的小區(qū)域。10微米載物臺定位和CCD攝像機可在PC上查看測量區(qū)域，從而允許使用先進的?技術(shù)查看和測量小至15 X 45微米的區(qū)域?？蛇x的小光點LSS光學系統(tǒng)將樣品上的標準1毫米激光束減少到0.25 x 0.75毫米可選的L-SCAT太陽能電池/散射樣品測量太陽能電池行業(yè)中常見的粗糙散射樣品很難用大多數(shù)橢圓偏振儀精確測量，因為信號強度損失且測量光束去極化。

盡管有提高信號強度和捕獲更多散射光的方法，但是處理去極化要困難得多，理想情況下，需要確定極化的完整狀態(tài)，即測量4個斯托克斯參數(shù)s0，s1，s2，s3。蓋特納斯托克斯橢偏做到這一點自然是我們?偏振計用作橢圓儀分析儀。這使橢偏儀具有獨特的功能，可以立即將測量光束的偏振和非偏振分量分開，從而僅基于光的全部偏振分量就可以對薄膜厚度和折射率進行高精度測量。L-SCAT散射選項包括對硬件的修改，可以捕獲更多來自粗糙，有紋理的表面的散射光，并且可以顯示偏振度P的程序。但是請記住，某些樣本可能太粗糙而散射太多的光用橢圓偏振法測量。可選的校準套件L118-KIT使用4個可追溯晶圓加玻璃（-KIT）或4個NIST可追溯晶圓加玻璃（-KIT）重新校準任何橢圓儀。中號OST用戶將不需要橢偏儀校準。適用于具有極其嚴格的公差和法規(guī)遵從用戶的＊嚴格的半導體制造商。 ?橢偏儀LSE-WS規(guī)格對準：傾斜度和工作臺高度通過計算機校準屏幕顯示。專有的傾斜和工作臺高度系統(tǒng)可校正普通的樣品傾斜和不平整度氧氣分析儀，而無需重新調(diào)整樣品或復雜，昂貴且緩慢的自動聚焦系統(tǒng)。

入射角：70度測量方法：先進的無需任何移動部件和調(diào)制器，只需4個固定式硅探測器即可讀取完整的光束偏振，因此測量準確且穩(wěn)定。測量時間：每點1秒，包括舞臺行程。測量激光：光譜精確，穩(wěn)定氧氣分析儀，持久的HeNe 激光器，光束直徑為1毫米（在70的晶片上為1x3毫米，典型壽命為3年以上。NIST使用類似的光源來生成校準標準?？蛇x的具有15 x 45微米的光斑， CCD攝像機查看。對準激光：670 nm激光二極管軟件：2D / 3D彩色圖形可在?下運行樣品（晶圓）尺寸：直徑標準可達。保持真空（需要5英寸汞柱）。階段：精密步進電機在用戶編程的計算機控制下，帶有手動按鈕超馳。線性和360°旋轉(zhuǎn)運動覆蓋了樣品上的任何點?？蓛A斜的桌子允許在X和Y平面上校正高達1°的樣品不平整度。每點1秒以的尺寸映射任何尺寸的晶片。舞臺精度：10微米以內(nèi)數(shù)據(jù)輸出：2D / 3D彩色圖像的膠片厚度，折射率和位置，以用于監(jiān)視氧氣分析儀，文件或打印機。文本數(shù)據(jù)文件很容易導出到其他程序。電腦：隨附?10筆記本電腦膜厚范圍：基板或1、2或3個已知子層上的0-60,000埃精度和重復性：在大多數(shù)測量范圍內(nèi)低于亞埃。

折光率：在大多數(shù)測量范圍內(nèi)為±0.0005。功率：115V，100V，220V，240V（50/60 Hz）尺寸（LSE-WS）：高度：18英寸寬度：28英寸深度：20英寸凈重：85磅。運輸重量：200磅。CE合規(guī)性：S系列橢偏儀符合歐洲安全指令并帶有CE標志。CDRH合規(guī)性：蓋特納（）提供的所有激光橢圓儀均符合CDRH要求 1040，用于發(fā)出小于1 mW的II類激光產(chǎn)品或小于5 mW的IIIb類激光產(chǎn)品。與任何明亮的光源（例如太陽燈或弧光燈）一樣，操作員不得直接凝視激光束或從高反射表面反射激光束。保證：1年保修涵蓋所有零件和人工，不包括運輸費用

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